低溫等離子體處理可對(duì)材料進(jìn)行有效的表面凈化、表面活化、表面粗化、表面蝕刻、表面沉積。 
等離子體處理的凈化作用：

可有效去除物體表面有機(jī)污染物和氧化物。
    主要特點(diǎn)：任何濕洗法清洗，表面都會(huì)有殘留，只有低溫等離子體表面處理才能做到徹底的凈化，得到超高潔凈度的表面，且低溫等離子體只對(duì)材料納米級(jí)的表面起作用，不會(huì)改變材料原有的特性，在對(duì)表面潔凈度要求較高的工藝中，正在取代濕法處理工藝而得到廣泛使用。
    處理機(jī)理：主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；重粒子撞擊固體表面；電子與活性基團(tuán)與固體表面發(fā)生反應(yīng)解析為新的氣相物質(zhì)而脫離表面。
    等離子體清洗技術(shù)的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型，均可進(jìn)行處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。

等離子體處理的活化作用：
    經(jīng)低溫等離子體處理后使物體表面形成C=O羰基（Carbonyl）、-COOH羧基（Carboxyl） 、−OH羥基（Hydroxyl）三種基團(tuán)。這些基團(tuán)具有穩(wěn)定的親水功能，對(duì)粘接、涂覆有積極作用。
    主要特點(diǎn)：可使聚合物表面出現(xiàn)部分活性原子、自由基和不飽和鍵，這些活性基團(tuán)與等離子體中的活性粒子發(fā)生反應(yīng)生成新的活性基團(tuán)，從而增加表面能量，改變表面的化學(xué)特性，增強(qiáng)表面附著力、粘結(jié)力、張力，包括對(duì)橡膠、復(fù)合材料、玻璃、布料、金屬等的處理，涉及各行各業(yè)。
等離子體處理的表面粗化與蝕刻作用：
   對(duì)應(yīng)不同的材料采用相應(yīng)的氣體組合形成具有強(qiáng)烈蝕刻性的氣相等離子體與材料表面的本體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)及物理沖擊，使材料本體表面的固態(tài)物質(zhì)被氣化，生成如CO、CO2、H2O等氣體，從而達(dá)到微蝕刻的目的。
     主要特點(diǎn)：刻蝕均勻，不改變材料基體特性；能有效粗化材料表面，并能精準(zhǔn)控制微蝕量。

 等離子體處理的涂層（沉積、接枝）作用：
    等離子體處理工藝還可以應(yīng)用于對(duì)材料的微量涂層。選配兩種相對(duì)應(yīng)的不同氣體同時(shí)進(jìn)入等離子體反應(yīng)艙，兩種氣體在等離子體環(huán)境下被激發(fā)而重新聚合，會(huì)產(chǎn)生新的化合物沉積在材料的表面形成新的涂層，利用等離子體處理的這種特效，可以把本來不易涂覆的材料涂覆到物體的表面，例如心臟支架、人造血管的防血液凝固涂層，材料的防刮表面和疏水性涂層等。
     主要特點(diǎn)：刻蝕均勻，不改變材料基體特性；能有效粗化材料表面，并能精準(zhǔn)控制微蝕量。

等離子體處理的涂層（沉積、接枝）作用：
    等離子體處理工藝還可以應(yīng)用于對(duì)材料的微量涂層。選配兩種相對(duì)應(yīng)的不同氣體同時(shí)進(jìn)入等離子體反應(yīng)艙，兩種氣體在等離子體環(huán)境下被激發(fā)而重新聚合，會(huì)產(chǎn)生新的化合物沉積在材料的表面形成新的涂層，利用等離子體處理的這種特效，可以把本來不易涂覆的材料涂覆到物體的表面，例如心臟支架、人造血管的防血液凝固涂層，材料的防刮表面和疏水性涂層等。
    主要特點(diǎn)：可使材料表面分子鏈發(fā)生斷裂產(chǎn)生新的自由基、雙鍵等活性基團(tuán)，隨之發(fā)生交聯(lián)、接枝等反應(yīng),活性氣體會(huì)在材料表面聚合產(chǎn)生一層沉積層，達(dá)到材料表面改性的目的。
    實(shí)際上，低溫等離子體對(duì)物件進(jìn)行處理的過程中，等離子氣體中的各種正負(fù)離子、高能量并高速運(yùn)動(dòng)著的電子、重粒子等都會(huì)對(duì)被處理材料表面發(fā)生物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)，所以上面所提及的低溫等離子體表面處理的四種（或五種）作用通常都會(huì)同時(shí)產(chǎn)生。